目前用星泰克SUN-1300负胶进行光刻工艺。目前用SUSS-MA6手动曝光机曝光，2500rpm/min的厚度；110℃；60s的前烘；12s的紫外曝光时间；110℃，75s的后烘；45s的显影。显影完后发现图形边缘有一圈虚边现象。初步怀疑是显影时间过长。有没有大神指点一下，还有什么因素会造成这样的形貌？图中GN-60字符是没有胶的，其余区域有胶。

这款胶我比较熟悉的，跟工艺参数有很大的关系。金属便面和非金属便面的烘烤和曝光、显影是不一样的。从图片的形貌来看，像是显影钻蚀严重导致。

建议坚持前后烘烤的时间延长至120，保证胶膜稳定。