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ESC dechuck问题

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楼主
697 0 海军haijun 发表于 2019-12-31 12:14:45
各位大神,请教一下,ESC放电不充分导致破片的问题,两个chamber都会破,只是频率不一样,一个破片频率高,一个频率低,前一个动作我们加了plasma放电,有所改善,频率降低,但是还是会有破片,ESC是单极ESC, 机台是Centura ultima X,制程是HDP STI, depositon时没有开ESC Voltage, 有RF bias Power, 怎样改善recipe才能解决这个问题呢?这个问题困扰一年多了,不胜感激
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