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[资料分享] 《微电子制造科学原理与工程技术》中文版PDF共630页

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楼主
43814 254 jbi3 发表于 2010-3-1 18:04:00
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《微电子制造科学原理与工程技术》(中文版)PDF



系 列 名:国外电子与通信教材系列

著 作 者:S. A. Campbell(美)

原出版社:Oxford University Press.Inc.

出 版 社:电子工业出版社

译 者:曾莹等

ISBN: 7505386263

日  期:2003年1月

页  数:630页



  本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术覆盖了集成电路制造所涉及的怕有基本单选工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等对每一种单项工艺,不仅工艺技术加快速热处理、 下一代光刻、分子束外延和金属有机物化学气相淀积等。在此基础上本书讨论了如何将这些单项工艺集成为各种常见的集成电路工艺技术,如CMOS技术、双极型技术和砷化镓技术,还介绍了微电子制造的新领域即微机械电子系统及其工艺技术。

  本书可作为高等学校微电子专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书,也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考。

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沙发
刘伟 发表于 2010-5-26 11:40:42
是电子工业出版社出版的,不错的一本书。
板凳
CHERY 发表于 2010-6-9 18:36:49
2003年出版的一本书,偏重工艺,但没有高k栅和低k介质的介绍,感觉没有跟上时代的潮流
地板
ch123ch 发表于 2010-7-8 08:29:03
中文版的,看着好多了,谢谢楼主
5#
worker321 发表于 2010-7-22 15:25:10
非常不错的一本书,强烈推荐
6#
完美的回忆 发表于 2010-8-27 00:14:54
往上顶!顶到所有人都看到
7#
静子 发表于 2010-8-27 09:34:02
楼主good
8#
hyuytf 发表于 2010-9-8 10:24:11
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9#
梦梅花语 发表于 2010-9-11 06:04:06
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牛召 发表于 2010-9-13 22:34:35
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